Reaktivno magnetronsko raspršivanje je zrela tehnika nanošenja tankog složenog sloja na širok spektar supstrata kao gornji sloj ili kao međusloj u višeslojnom premazu. Opseg "tankih" kreće se od nekoliko nanometara do nekoliko mikrometara.
Zašto magnetron prska?
Magnetronsko raspršivanje je proces sudara između upadnih čestica i meta … Magnetronsko raspršivanje povećava gustinu plazme uvođenjem magnetnog polja na površinu ciljne katode i korištenjem ograničenja magnetno polje na nabijenim česticama za povećanje brzine prskanja.
Šta se podrazumijeva pod reaktivnim raspršivanjem?
Reaktivno raspršivanje je proces koji omogućava taloženje jedinjenja uvođenjem reaktivnog gasa (obično kiseonika ili azota) u plazmu koji se obično formira od inertnog gasa kao što je argon (najčešći), ksenon ili kripton.
Kako funkcioniše magnetron raspršivanje?
Magnetronsko raspršivanje je tehnologija taloženja koja uključuje plinovitu plazmu koja se stvara i ograničava na prostor u kojem se nalazi materijal koji se deponuje – 'meta'. … Ovi sudari uzrokuju elektrostatičku repulziju koja 'odbija' elektrone sa atoma plina koji prskaju, uzrokujući jonizaciju.
Zašto RF raspršuje?
RF ili radiofrekventno raspršivanje je tehnika uključena u izmjenjivanje električnog potencijala struje u vakuumskom okruženju na radio frekvencijama kako bi se izbjeglo stvaranje naboja na određenim vrstama raspršenih ciljnih materijala, što s vremenom može rezultirati stvaranjem luka u plazmi koja izbacuje kapljice…